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一
FE-SEM(Field Emission SEM)是用束成電子束的電子線照射試料，觀察表面的裝置。可以進行超高分解能觀察。和通用SEM同樣，把電子線束起來當作是電子束來照射對象物體，通過檢出對象物體表面放出的二次電子和反射電子，進行對象的表面觀察。另外，因為JSM-7100F配備EDS和EBSD解析裝置，所以不僅可以進行高分解能觀察，還可以進行元素分析和結晶試料的方位解析（EBSD解析）。
1.可進行亞微米級觀察
通過通用SEM可在高倍率下進行形態觀察，可以取得更加鮮明的畫像。
2.EDX（能量分散型分析裝置）定性分析
FE-SEM安裝有EDX，在試料觀察的同時可以調查元素的種類、量、分布狀態。
3.EBSD結晶方位解析
可以進行焊錫和鋁等金屬結晶的微小方位差測定。
三
FE-SEM利用真空中束起的電子線掃描試料表面，檢出從試料產生的二次電子和反射電子，通過變換成電氣信號，在監測器上顯示出試料表面的擴大畫像。與熱電子放出型SEM不同，因為使用電場放出型電子槍，可以得到長時間安定的電子探針。因此，不必等待電流安定就可以馬上觀察高倍率畫像。
四
?型號：JSM-7100F
?制造商：裝置：日本電子（株）
?分解能 ：1.2nm(30kV),3.0nm(1kV)
?倍率 ：×10～500,000
?觀察倍率：～約10萬倍
?試料室尺寸：86㎜φ×40mmH
?最大試料尺寸：32 mmφ 高度 30 mm
?EDS：EDAX社制 Pegasus
?EBSD：TSL社制
五
?表面凹凸狀態和組成像觀察
?電鍍等的膜厚測定
?焊錫等金屬觀察
?合金層觀察
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