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      電場放射型掃描顯微鏡(FE-SEM)

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      簡介

      FE-SEM(Field Emission SEM)是用束成電子束的電子線照射試料,觀察表面的裝置。可以進行超高分解能觀察。和通用SEM同樣,把電子線束起來當作是電子束來照射對象物體,通過檢出對象物體表面放出的二次電子和反射電子,進行對象的表面觀察。另外,因為JSM-7100F配備EDS和EBSD解析裝置,所以不僅可以進行高分解能觀察,還可以進行元素分析和結晶試料的方位解析(EBSD解析)。

      特長

      1.可進行亞微米級觀察

      通過通用SEM可在高倍率下進行形態觀察,可以取得更加鮮明的畫像。

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      2.EDX(能量分散型分析裝置)定性分析

      FE-SEM安裝有EDX,在試料觀察的同時可以調查元素的種類、量、分布狀態。

      3.EBSD結晶方位解析

      可以進行焊錫和鋁等金屬結晶的微小方位差測定。

      分析原理

      FE-SEM利用真空中束起的電子線掃描試料表面,檢出從試料產生的二次電子和反射電子,通過變換成電氣信號,在監測器上顯示出試料表面的擴大畫像。與熱電子放出型SEM不同,因為使用電場放出型電子槍,可以得到長時間安定的電子探針。因此,不必等待電流安定就可以馬上觀察高倍率畫像。

      設備介紹

      image.png?型號:JSM-7100F

      ?制造商:裝置:日本電子(株)

      ?分解能 :1.2nm(30kV),3.0nm(1kV)

      ?倍率 :×10~500,000

      ?觀察倍率:~約10萬倍 

      ?試料室尺寸:86㎜φ×40mmH

      ?最大試料尺寸:32 mmφ  高度 30 mm

      ?EDS:EDAX社制 Pegasus

      ?EBSD:TSL社制

      分析用途

      ?表面凹凸狀態和組成像觀察

      ?電鍍等的膜厚測定

      ?焊錫等金屬觀察

      ?合金層觀察



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